Абгарян М.Г.

 Изобретение относится к микроэлектронике, к способу получения золото-алюминиевых микросварных контактных соединений. Цель изобретений повышение качества и надежности золото-алюминиевых микросварных соединений путем исключения образования интерметаллических соединений. В способе напыляют алюминиевую контактную площадку, не нарушая вакуума, формируют промежуточный слой путем напыления никел...

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для получения контактных соединений полупроводниковых приборов и интегральных схем. Цель изобретения повышение качества и надежности контактного соединения. Способ осуществляется следующим образом. В вакууме последовательно наносят слой алюминия и слой хрома, толщину которого выбирают равной осуществляют термообработку пр...