Мелкумян А.М.

  Изобретение относится к электронной промышленности, а именно к способам получения контактов к кремниевой подложке. Цель изобретения повышение надежности контактов золото алюминий на кремниевой подложке. Напыляют в вакууме алюминиевую пленку, на поверхность алюминиевого слоя, не нарушая вакуума, напыляют слой меди толщиной формируют контактную площадку и проводят термокомпрессионную свар...