БОГЕР ПЕТР ТОБИАСОВИЧ

  Изобретение касается очистки газов от хлори фторсодержащих соединений и может быть применено в машиностроении, в частности в установках вакуумно-плазменного травления. Цель изобретения - повышение эффективности очистки за счет увеличения поверхности контакта. Ловушка включает в себя реакционную камеру, помещенную в корпус, резистивно нагреваемую железную спираль, имеющую коническу...