Ловушка для примесных газов

Ловушка для примесных газов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение касается очистки газов от хлори фторсодержащих соединений и может быть применено в машиностроении, в частности в установках вакуумно-плазменного травления. Цель изобретения - повышение эффективности очистки за счет увеличения поверхности контакта. Ловушка включает в себя реакционную камеру, помещенную в корпус, резистивно нагреваемую железную спираль, имеющую коническую форму, конический трубчатый теплообменник. Расположение витков спирали и теплообменника таково, что делает проходное сечение ловушки оптически непрозрачным. Часть стенки реакционной камеры выполнена в виде кольцевой алюминиевой вставки. Поглощение хлорсодержащих соединений проходит на железной спирали, а фторсодержащих - на алюминиевой поверхности вставки. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

А1

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (1) В 01 D 53/14

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM

MPH П(НТ CCCP

Н А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4435799/23-26 (22) 06.06.88 (46) 07.11.90. Бюл. ¹- 41 (72) А.В.Мальппев и П.Т.Богер (53) 66.074(088.8) (56) Патент ГДР № 2166379 кл. В 01 D 53/34, 1983. (54) ЛОВУШКА ДЛЯ ПРИМЕСНЫХ ГАЗОВ (57) Изобретение. касается очистки газов от хлор- и фторсодержащих соединений и может быть применено в машиностроении, в частности в установках вакуумно-плазменного травления.

Цель изобретения — повышение эффективности очистки за счет увеличения

Изобретение относится к очистке газов от примесей и мажет быть применена в машиностроении, в частности в установках вакуумно-плазменного травления, Цель изобретения — повышение эф- фективности очистки за счет увеличения поверхности контакта.

На чертеже показана ловушка, разрез.

Ловушка содержит корпус 1, в котором размещена реакционная камера

2, куда помещена железная спираль 3, выполненная из профиля постоянного сечения и имеющая коническую форму.

Часть стенки реакционной камеры выполнена в виде кольцевой алюминиевой вставки 4. В кольцевой полости, образованной корпусом и реакционной ка" мерой, установлен конический трубчатый теплообменник 5. С торцов карповерхности контакта. Ловушка включает в себя реакционную камеру, помещенную в корпус, резистивна нагреваемую железную спираль, имеющую коническую форму, конический трубчатый теплаобменник. Расположение витков спирали и теплаабменника таково,чта делает проходное сечение ловушки оптически непрозрачным. Часть стенки реакционной камеры выполнена в в. .це кольцевой алюминиевой вставки, Па— глащение хларсадержащих соединений проходит на железной спирали, а фтарсадержащих — на алюминиевой поверхности вставки. 1 з.п, ф — лы, 1 ил. пус закрыт крышками 6 и 7. Крышка 6 является общей для корпуса и реакционной камеры и -э ней помещен входной патрубок 8 для подачи аткачиваемого газа. В стенке корпуса расположен выходной патрубак 9 для очищенного и ахлы<деннага газа. Расположение витков спирали и теплоабменника делает проходное сечение кольцевой камеры оптически непрозрачным. При этом площадь суммарного межвпткавога про-. ходного сечения спиралп и теплаабменника превышает площадь поперечного сечения соответственно входного и выходного патрубков. Спираль 3 закреплена в крышке 7 при помощи держателя

10 и изолятора 11 через промежуточную прокладку 12.

Ловушка для примесных газов работает следующим образам.

1604434

Откачиваемый газ с агрессивными примесями попадает через входной патрубок 8 в реакционную. камеру 2, Хлор и его соединения вступают в реакцию с нагреваемой от источника электропитания железной спиралью 3, а соединения фтора адсорбируются поверхностью кольцевой алюминиевой . вставки 4, косвенно разогреваемой спиралью 3 Очищенный газ попадает в кольцевую полость, образованную корпусом 1 а крышками 6 и 7 и реакционной камерой 2 ° охлаждается в межвитковом пространстве конического трубчатого теплообменника 5 и выходит через патрубок 9.

Использование спирали и теплообменника конической формы повышает эффективность очистки и охлаждения газов, а выполнение части стенки реакционной камеры в виде кольцевой алюминиевой вставки позволяет получить большую площадь адсорбирования фторсодержащих примесей. В результате в одной ловушке обеспечивается высокая степень очистки газа от хлори фторсодержащих примесей. Изготовление спирали из профиля постоянного сечения более технологично, чем из пластины переменного сечения.

Формула изобретения

1. Ловушка для примесных газов хлор- и фторсодержащих, содержащая

10. корпус, в котором соосно установлена железная резистивно нагреваемая спираль, входной и выходной патрубки, отличающаяся тем, что, с целью повышения эффективности очи15 стки за счет увеличения поверхности контакта, она снабжена трубчатым коническим теплообменннком, а спираль имеет коническую форму, выполнена из профиля постоянного сечения

20 и снабжена кольцевой вставкой, прн этом в кольцевом пространстве между корпусом и вставкой расположен конический трубчатый теплообменник.

2, Ловушка по п,l о т л и ч а ю25 щ а я с я тем, что, с целью расши-, рения диапазона улавливаемых примесей, нижняя часть кольцевой вставки выполнена из алюминия.1

l604434

Юьи

Редактор Н.Гунько

Заказ 3414 Тираж 568 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Производственно-издатель .кий комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Х7д дхо

Составитель Л.Лукин

Техред M.Äèäütê Корректор В.Гирняк