АНИСИМОВ АЛЕКСЕЙ ВЕНИАМИНОВИЧ

  Изобретение относится к автоматическому регулированию и может использоваться в вакуумной технике. Цель изобретения - улучшение эксплуатационных характеристик регулятора малых расходов газа. Регулятор содержит шток 1, установленный с возможностью осевого перемещения в опорах 2 корпуса 3. На штоке установлены подвижная 4 и неподвижная 5 каретки со штуцерами 12 и регулирующий орган в...