Атаманов М.В.

 Изобретение может быть использовано для повышения коррозионной стойкости, сопротивления усталостному разрушению, коррозионно-усталостной прочности, износостойкости и понижения коэффициента трения различных изделий из титана и циркония и их сплавов. Техническим результатом способа является увеличение толщины упрочненно-имплантированных слоев титана и циркония и их сплавов и уменьшение длит...

 Способ упрочнения изделий из металлов и их сплавов включает бомбардировку поверхности потоком плазмы азота с энергией частиц не выше 1кЭВ с дозой облучения 1020 - 1021 см-2 при плотности энергии плазменного потока 3-12 вт/см2. Перед бомбардировкой поверхности потоком плазмы азота ее обрабатывают плазменным потоком аргона, криптона или ксенона той же энергии при плотности ионного тока 5-25...

 Изобретение может быть использовано в электронной, атомной, оптической и других областях науки и техники. Задача изобретения состоит в формировании многокомпонентных пленок заданного состава в установившемся режиме при высокой скорости распыления. Способ включает создание в магнетронном устройстве ортогональных магнитного и электрического полей, распыление мозаичной мишени, содержащей вст...