PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Московкин Ю.В.

Изобретатель Московкин Ю.В. является автором следующих патентов:

Способ ионно-плазменного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, мозаичная мишень для его осуществления и способ изготовления мишени

Способ ионно-плазменного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, мозаичная мишень для его осуществления и способ изготовления мишени

 Изобретение может быть использовано в электронной, атомной, оптической и других областях науки и техники. Задача изобретения состоит в формировании многокомпонентных пленок заданного состава в установившемся режиме при высокой скорости распыления. Способ включает создание в магнетронном устройстве ортогональных магнитного и электрического полей, распыление мозаичной мишени, содержащей вст...

2210620