Митин А.В.

 Токопроводящий материал, содержащий кислородсодержащее соединение карбонитрида ниобия, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона удельного электрического сопротивления в низкоомной области в диапазоне температур 4,2 - 60 К, в качестве кислородсодержащего соединения карбонитрида ниобия в нем использован оксикарбонитрид ниобия, отвечающий общей химической формуле NbCxNvOz, где x =...

 Изобретение может быть использовано в электронной, атомной, оптической и других областях науки и техники. Задача изобретения состоит в формировании многокомпонентных пленок заданного состава в установившемся режиме при высокой скорости распыления. Способ включает создание в магнетронном устройстве ортогональных магнитного и электрического полей, распыление мозаичной мишени, содержащей вст...