Голубев А.К.

 Способ генерации плазмы, включающий подачу газа в рабочую камеру, создание в рабочей камере магнитного поля с пробочной конфигурацией силовых линий, подачу СВЧ-энергии в резонатор, в полости которого находится рабочая камера, и зажигание разряда при частоте 1 СВЧ-поля, выбранной из условия электронно-циклотронного резонанса в плазме разряда, отличающийся тем, что, с целью повышения эффект...