Способ генерации плазмы

Способ генерации плазмы

Реферат

Способ генерации плазмы, включающий подачу газа в рабочую камеру, создание в рабочей камере магнитного поля с пробочной конфигурацией силовых линий, подачу СВЧ-энергии в резонатор, в полости которого находится рабочая камера, и зажигание разряда при частоте ₁ СВЧ-поля, выбранной из условия электронно-циклотронного резонанса в плазме разряда, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности ионизации рабочего газа, на плазму разряда дополнительно воздействуют СВЧ-полем, частоту ₂ которого выбирают из условия где ₃ - ионно-звуковая или ионно-плазменная частота.