PatentDB.ru — поиск по патентным документам

ДУХНОВСКИЙ МИХАИЛ ПЕТРОВИЧ

Изобретатель ДУХНОВСКИЙ МИХАИЛ ПЕТРОВИЧ является автором следующих патентов:

Устройство для термообработки полупроводниковых пластин

Устройство для термообработки полупроводниковых пластин

  Изобретение относится к электронной технике и обеспечивает расширение функциональных возможностей устройства за счет увеличения диапазона давлений в реакцитонной камере и продолжительности процесса. Устройство содержит прозрачную реакционную камеру для обрабатываемой пластины. Снаружи камеры в герметичном корпусе, заполненном прозрачным хладагентом, размещены галогенные лампы и тр...

1665879