ДУХНОВСКИЙ МИХАИЛ ПЕТРОВИЧ
Изобретатель ДУХНОВСКИЙ МИХАИЛ ПЕТРОВИЧ является автором следующих патентов:
![Устройство для термообработки полупроводниковых пластин Устройство для термообработки полупроводниковых пластин](https://img.patentdb.ru/i/200x200/b84dee1366f487477e685bbe26b25b4a.jpg)
Устройство для термообработки полупроводниковых пластин
Изобретение относится к электронной технике и обеспечивает расширение функциональных возможностей устройства за счет увеличения диапазона давлений в реакцитонной камере и продолжительности процесса. Устройство содержит прозрачную реакционную камеру для обрабатываемой пластины. Снаружи камеры в герметичном корпусе, заполненном прозрачным хладагентом, размещены галогенные лампы и тр...
1665879