ЗОНТОВ ВЛАДИМИР СТЕПАНОВИЧ

  Изобретение относится к технологии очистки газов от воды и кислорода и может быть использовано в микроэлектронике для приготовления легирующих газовых смесей с гидридами и для создания высокочистой инертной среды при производстве полупроводниковых приборов и материалов. Цель изобретения - повысить глубину очистки инертного газа за счет предварительного активирования поглотителя к...

  Изобретение позволяет проводить очистку хлористого водорода одновременно от воды и кислорода при увеличении глубины очистки от кислорода и упростить процесс очистки. Для этого хлористый водород пропускают через слой хлорида железа (II), нанесенного на активированный уголь, с расходом не более 500 . Температура поглотителя при очистке может находиться в интервале -70..+ 200&de...