Способ очистки хлористого водорода

Способ очистки хлористого водорода

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение позволяет проводить очистку хлористого водорода одновременно от воды и кислорода при увеличении глубины очистки от кислорода и упростить процесс очистки. Для этого хлористый водород пропускают через слой хлорида железа (II), нанесенного на активированный уголь, с расходом не более 500 . Температура поглотителя при очистке может находиться в интервале -70..+ 200°С. Хлорид железа (II) наносят на активированный уголь путем пропитки угля водным раствором хлорида железа (II) с содержанием хлорида железа (II) 25-40,6 мае. %. Количество хлорида железа (II) составляет 22-35 мае.% от массы поглотителя , 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5I)5 С 01 В 7/07

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4811204/26 (22) 06.04,90 (46) 15.04.92. Бюл. ¹ 14 (71) Научно-исследовательский институт материаловедения (72) Д.Н. Звуков, В.С. Зонтов и В.Ф. Попенко (53) 546.131(088.8) (56) Патент Великобритании № 2188043, кл. С 01 В 7/07, 1987. (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА (57) Изобретение позволяет проводить очистку хлористого водорода одновременно от воды и кислорода при увеличении глубины

Изобретение относится к технологии очистки газов и может быть использовано для финишной очистки хлористого водорода, применяемого в электронной промышленности для травления кремниевых подложек.

Цель изобретения — одновременная очистка оГкислорода без снижения глубины очистки от паров воды.

Подготовка поглотителя.

230 г активированного угля марки СКТ зернением 2,0 — 2,7 мм помещают в колонку из нержавеющей стали емкостью 500 л и пропитывают водным раствором хлорида железа (И). После этого колонку с поглотителем высушивают в токе особо чистого азота при 300 С в течение 3 ч, вакуумируют до остаточного давления 1 ° 10 мм рт.ст., ох„„Я „„1726368 А1 очистки от кислорода и упростить процесс очистки, Для этого хлористый водород пропускают через слой хлорида железа (11), нанесенного на активированный уголь, с расходом не более 500 ч . Температура поглотителя при очистке может находиться в интервале -70...+ 200 С. Хлорид железа (II) наносят. на активированный уголь путем пропитки угля водным раствором хлорида железа (11) с содержанием хлорида железа (II) 25 — 40,6 мас.%. Количество хлорида железа (И) составляет 22-35 мас.% от массы поглотителя, 1 табл. лаждают до комнатной температуры и герметизируют, Экспериментально установлено, что для получения поглотителя с содержанием

FeClz 22-35% концентрация FeClz в водном растворе. применяемом для пропитки, должна быть не ниже 25%. Верхний предел концентрации FeClz определяется концентрацией насыщенного раствора, равной

40,6%.

Пример 1. Колонку с подготовленным поглотителем подсоединяют к баллону с хлористым водородом и пропускают хлористый водород при комнатной температуре с расходом 300 ч (150 л/ч). После очистки хлористый водород подается в установку травления кремниевых пластин. Содержание воды в исходном хлористом водороде

1-10 об.%, кислорода — 6 10 об.%. Содер1726368

Формула изобретения

Способ очистки хлористого водорода от паров воды, включающий пропускание его через слой поглотителя, представляющий

5 собой хлорид металла, нанесенный на твердый носитель, отличающийся тем, что, с целью одновременной очистки от кислорода без снижения глубины очистки от паров воды, в качестве поглотителя используют

10 хлориджелеза(11), нанесенный на активированный уголь в количестве 22 — 35 от общей массы, и пропускание ведут с расходом не более 500 ч .

}, Расход хлористого во дорода, Ц

Концентрация примесей в исходном газе, об. 3

Пример Содержание ГеС12

Концентрация примесей в очищенном газе, об. 3 в поглотителе, мас. о

Кислород Вода

Кислород Вода

8 ° 10

8 .1О

400

3Р

8-10

8 10

8 ° 10

8 -1О

8.10

8 10

8 10

1,О 10

500

А 2о3 )60

10

6-10 з

11 (прототип) Вс1 на

50

Составитель Д.Звуков

Техред М.Моргентал

Редактор А.Лежнина

Корректор О .Кундрик

Заказ 1242 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 жание воды после очистки 2 10 об.%, кислорода — 8 10 об. 7ь.

Содержание воды в хлористом водороде определяли методом "точки росы", содержание кислорода — хроматографически.

Другие примеры реализации предлагаемого способа очистки хлористого водорода приведены в таблице.

Использование предлагаемого способа очистки хлористого водорода по сравнению с прототипом позволяет проводить одновременную очистку от кислорода и воды, а также избежать использования агрессивных и легко воспламеняющихся реагентов при подготовке поглотителя.

520

6,)p-з

6 10 з

6 ° 1О з б ° 10 з

610з б 10 з

6.)p з

6 1p з

6 10 з

6 10 з

6 10 з

1 10з

1.)P з

1 10з

1 ° 10 з

1 10 з

1 1О з

1 ° 10 з

1 10з

1.)P з

110 з

7„10 з

2 10

3 10

4 ° 10

7 1О

1,,0 10

1,0 ")О

1,0 lp

1,0 1О

2,2 10

1,4 10

1 10