ПАНОВ АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ

  Изобретение относится к получению диэлектрических покрытий плазменным напылением и может быть использовано в электротехнической и машиностроительной отраслях народного хозяйства. Цель изобретения - повышение диэлектрических и механических свойств оксидных покрытий . По изобретению в состав для напыления , содержащий оксиды алюминия и титана, дополнительно вводят оксиды иттрия , л...