Состав для получения диэлектрических покрытий
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к получению диэлектрических покрытий плазменным напылением и может быть использовано в электротехнической и машиностроительной отраслях народного хозяйства. Цель изобретения - повышение диэлектрических и механических свойств оксидных покрытий . По изобретению в состав для напыления , содержащий оксиды алюминия и титана, дополнительно вводят оксиды иттрия , лантана и церия при следующем соотношении компонентов, мас.%: оксид алюминия 79,7 - 82,1; оксид титана 12,3 - 13,2; оксид иттрия 3,6 - 2,4; оксид лантана 1,5- 1,1; оксид церия 2,9- 1,2. Напыленное диэлектрическое покрытие имеет электрическую прочность в 2,5 раза выше, в десятки раз большее время наступления пробоя, а также в 1,7 раза более высокие прочность сцепления сосновой и прочность на разрыв, чем покрытия из известного состава. 1 табл. w Ј
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51)5 С 23 С 4/00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
1 (21) 4736114/02 (22) 07.09.89 (46) 23.10.91. Бюл. hL 39 (71) Физико-механический институт им.Г.В. Карпенко (72) А.И.Балицкий, Я,Б,Данилевич, В.И.Похмурский, Е.А.Брынский, В.Г.Макаренко, А.С.Панов и М.А.Тыхан (53) 621.793.7 (088.8) (56) Хасуи А., Моригаки О. Наплавка и напыление. — М.: Машиностроение, 1985, с.194.
Демиденко А,M..Âûñîêîîãíåóïîðíûå композиционные покрытия. — М.: Металлургия, 1979, с.106 — 109. (54) СОСТАВ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЗЛЕКТРИЧ Е СКИХ. ПОКРЫТИЙ (57) Изобретение относится к получению диэлектрических покрытий плазменным напыИзобретение относится к получениюдиэлектрических покрытий плазменным напылением и может быть использовано в электротехнической и машиностроительной отраслях народного хозяйства.
Цель изобретения — повышение диэлектрических и механических свойств покрытий.
Состав для получения покрытий содержит смесь оксидов алюминия, титана и редкоземельных металлов при следующем соотношении компонентов, мас. :
AI2O3 79,7 — 82,1
Т102 12,3 13.2
У20з 3,6 — 2,4
Йд203 1,5 — 1,1
Се02 2,9 — 1,2
„„. рЦ „„1686030 А1 лением и может быть использовано в электротехнической и машиностроительной отраслях народного хозяйства. Цель изобретения — повышение диэлектрических и механических свойств оксидных покрытий. По изобретению в состав для напыления, содержащий оксиды алюминия и титана, дополнительно вводят оксиды йттрия, лантана и церия при следующем соотношении компонентов, мас. : оксид алюминия 79,7 — 82,1; оксид титана 12,3—
13,2; оксид иттрия 3,6 — 2,4; оксид лантана
1,5 — 1,1; оксид церия 2,9 — 1,2, Напыленное диэлектрическое покрытие имеет электрическую прочность в 2,5 раза выше, в десятки раз большее время наступления пробоя, а также в 1,7 раза более высокие прочность сцепления с основой и прочность на разрыв, чем покрытия из известного состава. 1 табл.
Соотношение добавок оксидов редкоземельных металлов обусловливает определенную структуру, механические и ©О диэлектрические свойства полученного по- О крытия, что обеспечивает его высокие служеб-. ные и эксплуатационные характеристики. (,Д
Введение оксида титана препятствует {, транскристаллитному разрушению. При его содержании меньше 12,3 мас,, наблюдает-, Ф ся резкое падение прочности покрытия на разрыв. Оксид иттрия обладает пластифицирующими действием и его вводят для уменьшения интеркристаллитного разрушения, Превышение суммарного содержания оксидов титана и иттрия сверх 16,8 мас.$ приводит к понижению сопротивления хрупкому разрушению и ухудшению диэлектрических свойств. Добавление в
1686030
Состав, мас.%
Свойства ппнрытия
Старение - ерема наступления Прочность прпопя ппи напрямении, нБ/мч спяплениа
J >
Элентоичесняа прочность Е, н8/мч
ГЬочность на раэсьв
gg, 1в
Т10
С От
А14 Оэ
Naz0>
G,2
4,8
6,5
3,6
3,?
4,0
2,55
2,6
0,5 пин
27 с
1 мин;
4 ч
20 с
10,с
21,6 ч
11.5 ч
> 7
6 ч
5 ч
2 ч
0,7 ч
0,5 ч
13„2
13,0
12,3
12,5
12,8
12,7
13 .
62,1
80,7
76;7
85,0
86 85
67"
100
23
23
18
17
1,2
2,3
2,6
40 мин
10 мин
50 мин
5 мин
5 мин
5 с
1О с
32
24
21
23
2,4
2,6
3,6 г,5
1,1
1;2
1,5
1,2 г,з
Иэвестный состав.
Составитель Л.Нестеренко
Редактор И.Шмакова Техред М.Моргентал Корректор Э.Лончакова
Заказ 3578 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 состав покрытия оксидов лантана и церия повышает пластичность покрытия и его стойкость к воздействию ударных нагрузок.
Кроме того, введение оксидов иттрия, лантана и церия в состав для напыления повыI шает диэлектрические свойства покрытий.
При содержании оксидов иттрия, титана и церия ниже указанных пределов не обеспечивается требуемый уровень диэлектрических и механических свойств, а при содержании этих оксидов выше укаэанных пределов не происходит дальнейшего улучшения свойств покрытия.
Пример. Для получения покрытий исходные компоненты с размером частиц не более 100 мкм смешивают в конгломераторе. Напыление проводят на плазменной установке УПУ-Зд при использовании в качестве плазмообраэующего газа аргона, при рабочем токе 600 А и напряжении 50 8, Покрытие наносят на подслой из порошка
ПТ вЂ” НА — 01. Поверхность детали из материала Д 16 Т предварительно подвергают дробеструйной обработке. Толщина покрытия 150 мкм. Прочность сцепления определяют по штифтовой методике, прочность на разрыв — на составных образцах. Испытания диэлектрических свойств проводят при 20 С и относительной влажности воздуха 40 по ГОСТ 6433 — 71.
5 Состав и свойства покрытий приведены в таблице, Как видно из приведенных данных. напыленное диэлектрическое покрытие имеет .электрическую прочность в 2,5 раза выше, 10 чем у известного покрытия, в десятки раз большее время наступления пробоя, а также в 1,7 раза более высокие прочность сцепления с основой и прочность на разрыв.
Формула изобретения
15 Состав для получения диэлектрических покрытий, содержащий оксиды алюминия и титана, отличающийся тем, что, с целью повышения диэлектрических и механических свойств, он дополнительно содержит
20 оксиды иттрия, лантана и церия при следующем соотношении компонентов, мас. g,:
Оксид алюминия 79,7 — 82,1
Оксид титана 12,3 — 13,2
Оксид иттрия 2,4 — 3,6
25 Оксид лантана 1,1 — 1,5
Оксид церия 1,2 — 2,9