ВАФИН МИНХАТ ГАЯСОВИЧ

  Изобретение относится к масс-спектрометрическим методам контроля герметичности и позволяет повысить чувствительность контроля. Размещают изделие в вакуумной камере. Настраивают компенсируемый течеискатель на регистрацию пробного газа, а некомпенсируемый течеискатель - на регистрацию компонента остаточного газа вакуумной камеры с молекулярной массой, близкой к молекулярной массе п...