Способ контроля герметичности изделий

Способ контроля герметичности изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к масс-спектрометрическим методам контроля герметичности и позволяет повысить чувствительность контроля. Размещают изделие в вакуумной камере. Настраивают компенсируемый течеискатель на регистрацию пробного газа, а некомпенсируемый течеискатель - на регистрацию компонента остаточного газа вакуумной камеры с молекулярной массой, близкой к молекулярной массе пробного газа. Компенсируют выходной сигнал компенсируемого течеискателя выходным фоновым сигналом некомпенсируемого течеискателя, при этом гасятся как высокочастотные случайные флуктуации, так и монотонно изменяющаяся нестабильность , связанная с уменьшением газоотделения изделия. По результирующему сигналу компенсируемого течеискателя судят о герметичности изделия 4 ил, 1 табл.

CDIO3 COBF. ГСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s G 01 М 3/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4733198/28 (22) 14.06.89 (46) 23.11.91. Бюл. М 43 (72) Ю.И.Казаков, M.Ã.Âàôèí и В,К.Власова (53) 620.165.29(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1565214, кл. G 01 М 3/02, 1987. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к масс-спектрометрическим методам контроля герметичности и позволяет повысить чувствительность контроля. Размещают изделие в вакуумной камере, Настраивают

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и позволяет осуществлять контроль герметичности изделий масс-спектрометрическим методом.

Цель изобретения — повышение чувствительности контроля путем исключения влияния монотонно изменяющейся нестабильности.

На фиг. 1 представлена принципиальная схема установки для реализации способа; на фиг. 2 — сигнал компенсируемого течеискателя, настраиваемый на регистрацию пробного газа без компенсации; на фиг.

3 — сигнал некомпенсируемого течеискателя, настраиваемого на регистрацию компонентов остаточного газа с молекулярной массой, близкой к молекулярной массе пробного газа; на фиг. 4 — сигнал компенсируемого. течеискателя после компенсации сигналом некомпенсируемого течеискателя.

„„5U„„1693411 А1 компенсируемый течеискатель на.регистрацию пробного газа, а некомпенсируемый течеискатель — на регистрацию компонента остаточного газа вакуумной камеры с молекулярной массой, близкой к молекулярной массе пробного газа. Компенсируют выходной сигнал компенсируемого течеискателя выходным фоновым сигналом некомпенсируемого течеискателя, при этом гасятся как высокочастотные случайные флуктуации, так и монотонно изменяющаяся нестабильность, связанная с уменьшением газоотделения изделия. По результирующему сигналу компенсируемого течеискателя судят о герметичности изделия. 4 ил, 1 табл, Участок а — б (фиг. 2) соответствует сигналу на негерметичность изделия, Т вЂ” время.

Установка состоит из вакуумной камеры

1, в которой размещено испытуемое изделие 2, и пневмопульта 3. Вакуумная камера

1 откачивается вакуумным насосом 4, к которому подключены компенсируемый 5 и некомпенсируемый 6 течеискатели. Последние соединены вакуумным трубопроводом 7 и электрической цепью 8. Течеискатель 5 настраивается на регистрацию пробного газа. Течеискатель 6 настраивается на регистрацию одного из компонентов остаточного газа вакуумной системы, близкого по молекулярной массе к молекулярной массе пробного газа.

Данное условие объясняется тем, что стабильность работы откачных вакуумных насосов зависит от молекулярной массы компонента остаточного газа вакуумной системы (см. табл,), В таблице представлено отношение величины фоновой флюктуации выходного сигнала течеискателя AQ ф к величине фона йф.

Данные получены экспериментальным путем и в определенной мере характеризуют современный уровень развития массспектрометрического метода контроля герметичности.

Если компенсируемый течеискатель 5 настраивается на регистрацию пробного газа гелия, то некомпенсируемый течеискатель 6 следует настраивать на регистрацию водорода. Если в качестве пробного газа используется аргон с м,ч, 40, то некомпенсируемый течеискатель настраивается на углекислый гаэ с м.ч. 44.

Стабильность откачки газов с близким молекулярным весом одинакова, следовательно, флюктуации.течеискателей, настроенных на различные газы, будут типичны.

Вместе с тем процессы газовыделения пробного газа и других компонентов подобны между собой {фиг. 2 и 3). Произведя компенсацию сигнала компенсируемого течеискателя 5 сигналом некомпенсируемого течеискателя 6, гасим флюктуации и нестабильности rlepeoro. Вместе с тем сигнал, вызванный утечкой пробного газа, не может быть скомпенсирован, поскольку такой вид изменения потока газа не регистрируется некомпенсируемым течеискателем 6, Способ контроля герметичности изделий осуществляется следующим образом, Изделие 2 размещают в вакуумной камере 1, Камеру 1 и иэделие 2 обеэгаживают.

Компенсируемый течеискатель 5 настраивают на регистрацию пробного газа гелия, а некомпенсируемый течеискатель 6 — на регистрацию водорода.

Изменяя чувствительность течеискателей, подбирают условия, при которых величина фонового сигнала и нестабильносгь двух течеискателей близки между собой.

Компенсируют выходной сигнал компенсируемого течеискателя 5 выходным сигналом некомпенсируемого течеискателя

6. При этом гасятся флюктуации сигнала

5 компенсируемого течеискателя 5. Подают пробный гаэ в изделие 2, Если изделие 2 негерметично, то появится сигнал, который не может быть скомпенсирован сигналом некомпенсируемого течеискателя 6, По ве10 личине данного сигнала судят о негерметичности изделия.

Чувствительность способа повышается, так как производится гашение как высокочастотных случайных флюктуаций течеиска15 теля, так и монотонно, изменяющейся нестабильности, связанной с уменьшением газоотдачи изделия, Кроме того, простота системы по-сравнению с известными обеспечивает дополнительное повышение чувстви20 тельности и технологичности способа.

Реализация способа в производстве позволяет значительно сократить длительность испытаний (не менее чем на 5 — 6 ч) изделий с большими потоками газовыделе25 ния и большими фоновыми потоками пробного газа, сократить его расход, уменьшить трудоемкость испытаний, Фар ула изобретения

Способ контроля герметичности изде30 лий в вакуумной камере, заключающийся в том, что некомпенсируемым течеискателем измеряют фоновый поток газа, фоновым сигHBfloM некомпенсируемог0 течеискателя гасят фоновый сигнал компенсируемого те35 чеискателя, измеряющего суммарный поток пробного газа из вакуумной камеры, и по результирующему сигналу компенсируемого течеискателя судят о герметичности иэделия, отличающийся тем, что, с целью

40 повышения чувствительности, измерение фонового потока газа осуществляют путем регистрации компонента остаточного газа вакуумной камеры с молекулярной массой, близкой к молекулярнол массе пробного газа.

Н2 Не CH4 Ne й2 02 А2 СО2

1693411

1693411

Составитель Л,Пилишкина

Техред M,Mîðãåíòàë Корректор В,Гирняк

Редактор О.Хрипта

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул,Гагарина, 101

Заказ 4069 TNpBOK Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5