УМАРОВ ФАРИД ФАХРИЕВИЧ

  Изобретение относится к массспектрометрии и может быть использовано для элементного и фазового послойного анализа кристаллических твердых тел. Цель изобретения - повышение точности и чувствительности - достигается тем, что послойное распыление мишени ионами осуществляют в диапазоне углов 1-5° к поверхности мишени, в диапазоне энергии, верхний предел которой ниже порога распыления...