Способ послойного количественного анализа кристаллических твердых тел

Способ послойного количественного анализа кристаллических твердых тел

Реферат

Изобретение относится к массспектрометрии и может быть использовано для элементного и фазового послойного анализа кристаллических твердых тел. Цель изобретения - повышение точности и чувствительности - достигается тем, что послойное распыление мишени ионами осуществляют в диапазоне углов 1-5° к поверхности мишени, в диапазоне энергии, верхний предел которой ниже порога распыления атомов поверхности мишени вдоль нормальной составляющей их скорости , при этом в ходе распыления мишень равномерно вращают относит льно оси, нормальной к поверхности распыления. Отбор для масс-анализа вторичных частиц осуществляют по азимуту в угловом интервале 85 i 5 к направлению бомбардирующего пучка. Перед анализом осуществляют предварительную обработку поверхности тем же пучком до R2 0,05 мкм, где R 2. - шероховатость поверхности. Рассеянные и распыленные частицы пространственно разделены, вследствие чего увеличивается .отношение сигнала к фону, а такж. обеспечивается возможность в равных условиях определять концентрацию примесей, находящихся не только в узлах кристаллической решетки, но и а ее междоузлиях. 1 з „ п. ф-лы, 1 ил, о го эо