ЧИСТОВ ЮРИЙ СЕРГЕЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при - контроле технологических процессов в полупроводниковом приборостроении. Целью изобретения является повышение воспроизводимости площади контакта. Сущность изобретения заключается в том, что к слою диоксида кремния толщиной 2 мкм прижимают зонд из плавленого индия, выполненный в виде конуса высотой 2,5 мм...