КОСМОВИЧ АНАТОЛИЙ ЛЬВОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для оценки плоскостности поверхности пластины . Цель изобретения - повышение точности и производительности контроля за счет исключения ошибки неточности базирования контролируемой пластины и возможности определения отклонения от плоскостности всей пластины. Контроль плоскостности поверхности пластины включает...