ЖУКОВИЧ ПЕТР МИХАЙЛОВИЧ

  Изобретение относится к технологии изготовления вакуумных устройств для фиксации распрямления тонких плоских деталей, например полупроводниковых пластин, в оптико-механическом и контрольно-измерительном оборудовании в процессах экспонированияиконтроля полупроводниковых пластин. Целью изобретения является упрощение технологического процесса изготовления устройства, уменьшение непл...