ПАВЛОВА ЭМИЛИЯ ИГОРЕВНА

  Использование: в микроэлектронике, предназначено для использования в технологическом процессе изготовления газочувствительных сенсоров. Сущность изобретения: предлагаемое техническое решение позволит изготавливать высокочувствительные сенсоры для измерений компонентов газов с высокой точностью. Способ включает процесс напыления газочувствительной пленки окиси цинка из особо чисто...

  Использование: микроэлектроника, устройства для исследования и измерения параметров газов и их составляющих. Сущность изобретения: устройство включает диэлектрическую подложку, на одной стороне которой на подслое из кварца имеются сенсоры одинаковых размеров, выполненные на газочувствительиых параллельных полосковых элементах, разделенных электродами , а также два датчика темпера...