СЕЛИФАНОВ СЕРГЕЙ ОЛЕГОВИЧ

  Использование: область вакуумно-плазменной технологии и может быть использовановмашиностроительной , приборостроительной и электронной промышленности . Сущность изобретения: для осаждения углеродной пленки алмазоподобного типа распыляют углеродную мишень в скрещенных электрическом и магнитном полях и осаждают поток с плотностью частиц, превышающей плотность остаточной атмосферы и...