ФРИДМАН ФЕЛИКС СЕМЕНОВИЧ

  Использование: производство полупроводниковых приборов, в частности подготовка поверхности полупроводниковых пластин перед операциями микролитографии . Сущность изобретения: на вращающуюся пластину подают моющий раствор, опускают с обеспечением небольшого натяга вращающуюся щетку, изменяют натяг щетки в процессе гидромеханической обработки , после чего отводят щетку от пластины д...