Способ отмывки полупроводниковых пластин

Способ отмывки полупроводниковых пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Использование: производство полупроводниковых приборов, в частности подготовка поверхности полупроводниковых пластин перед операциями микролитографии . Сущность изобретения: на вращающуюся пластину подают моющий раствор, опускают с обеспечением небольшого натяга вращающуюся щетку, изменяют натяг щетки в процессе гидромеханической обработки , после чего отводят щетку от пластины до образования зазора, обеспечивающего создание в нем слоя моющей жидкости. При этом усилие между цилиндром щетки и плоскостью пластины распределяется по образующей щетки. Между материалом щетки, обладающим гидрофильными свойствами, и обрабатываемой поверхностью пластины создается гидродинамический слой моющей жидкости, что исключает образование продуктов износа материала щетки, а большие .гидродинамические силы в этом слое способствуют отрыву твердых микрочастиц с поверхности пластины, в том числе и из окон рельефа. Таким образом происходит гидродинамическая отмывка пластин.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 В 08 В 3/00

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР . (ГоспАтент СССР) К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4850087/12. (22) 10.07.90 (46) 15.12.92. Бюл, М 46 (71) Опытно конструкторское бюро машиностроения при заводе "Эллар" (72) Б. P. Удэм и Ф. С. Фридман (56) Модуль гидродинамической отмывки

Ш ЦМ3.190.035 Автомата микролитографии

АФ.3-150, ШЦМ3,281-046 ТУ (" Лада-150А"), 1988. (54) СПОСОБ ОТМЫВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН (57) Использование: производство полупроводниковых приборов, в частности подготовка поверхности полупроводниковых пластин перед операциями микролитографии. Сущность изобретения: на вращающуюся пластину подают моющий раствор, Изобретение относится к производству полупроводни;овых приборов, в частности к подготовке поверхности полупроводниковых пластин перед операциями микролитографии.

Известен способ гидромеханической отмывки, заключающийся в том, что на вращающуюся полупроводниковую пластину подают моющую жидкость и проводят отмывку пластины вращающейся щеткой а постоянным (нерегулируемым) натягом.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому способу является способ отмывки, заключаюв ийся в том, что обрабатываемой пластине:ообщают вращение, подают на нее моющий раствор и подводят к ней вращающуюся щетку, установленную с определеннь|м натягом по от. ношению к обрабатываемой пластине, После осуществления гидромеханической

ОПИСАНИ

Е ИЗОБРЕ Ж„» 1780871 А1

2 опускают с обеспечением небольшого натя- . га вращающуюся щетку, изменяют натяг щетки в процессе гидромеханической обработки, после чего отводят щетку от пластины до образования зазора, обеспечивающего создание в нем слоя моющей жидкости. При этом усилие между цилиндром щетки и плоскостью пластины распределяется по образующей щетки. Между материалом щетки, обладающим гидрофильными свойствами, и обрабатываемой поверхностью плаСтины создается гидродинамический слой моющей жидкости, что исключает образов ни@ продуктовизноса материала щетки, а большие гидродинамические силы в этом слое способствук т отрыву твердых микрочастиц с поверхности пластины, в том числе и из окон рельефа, Таким образом происходит гидродинамическая отмывка пластин. отмывки пластины щеткой последнюю отводят в сторону и подводят сопло струи высокого давления для осуществления гидродийамической отмывки, При обработке щеткой с небольшим натягом с пластины удаляются крупные чаетицы, а при обработке струей высокого давления-микрочастицы, Йедостатком указанного способа является то, что струя высокого давления сообщает пластине статический заряд, что выводит из строя ряд приборов. I

При увеличении натяга щетки с целью удаления с пластины микрочастиц качество отмывки ухудшается. В этом случае, если материал щетки жестче материала пластины, то ( на последней появляются царапины, если материал щетки мягче материала пластины, то щетка изнашивается, и поверхность пласти1780871

Составитель Б.Удэм

Гехред М.Моргентал

Редактор

Корректор E.Ïàïï

Заказ 4235 Гираж . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытияи при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Рэушская наб., 4/5

Произвобственно-издагельский комбинат "Патент", r. Ужгород. ул. Гагарина, 101 ны дополнительно загрязняется продуктами этого износа, Цель изобретения — повышение качества и производительности отмывки.

Укаэанная цель достигается следую- 5 щим способом.

На вращающуюся пластину подают моющий раствор, опускают с обеспечением небольшого натяга вращающуюся щетку, изменяют натяг щетки в процессе гидроме-. 10 ханической обработки, после чего отводят щетку от пластины до образования зазора, обеспечивающего создание в нем слоя моющей жидкости. При,этом усилие между цилиндром щетки и плоскостью пластины 15 распределяется по образующей щетки.

Между материалом щетки, обладающим гидрофильными свойствами, и обрабатываемой поверхностью пластины создается гидродинамический слой моющей жидко- 20 сти, что исключает образование продуктов износа материала Щетки, а большие гидродинамические силы в этом слое способствуют отрыву ..вердых микрЬчастиц с поверхности тластины, в том числе и иэ 25 окон рельефа Таким образом происходит гидродинами еская отмывка пластины, после чего пласт мну сушат, Величина гидродинамических сил в слое воды зависит от величины зазора меж- 30 ду рабочей поверхностью щетки и обрабатываемой поверхностью пластины, и от скоростей вращения щетки и центрифуги с пластиной. Все эти величины задаются в технологическом рецепте и осуществляются устройством управления процессом отмывки.

Формула изобретения

Способ отмывки полупроводниковых пластин, заключающийся в том, vTo изделию сообщают вращение, подают на него моющую жидкость и производят гидромеханическую отмывку вращающейся щеткой, поджимаемой к изделию с натягом, после чего щетку отводят и осуществляют гидродинамическую промывку моющей жидкостью, отличающийся тем, что, с целью повышения качества и производительности отмывки, в процессе гидромеханической отмывки изменяют натяг щетки для снятия частиц с различной степенью сцепления с обрабатываемой поверхностью пластин, а гидродинамическую промывку осуществля. ют путем отвода щетки с образованием между ее рабочей поверхностью и обрабатываемой поверхностью зазора. обеспечивающего создание на нем слоя моющей жидкости 3а счет гидрофильных свойств щетки и удаление микрочастиц за счет кавитационных явлений в этом слое.