УДЭМ БОРИС РУБЕНОВИЧ

  Изобретение относится к области распыления жидкостей вязкостью от 0,5 до 1,5 мПа с помощью газообразной среды и может быть использовано преимущественно в процессах, где требуется получение широкого факела распыленной жидкости при малых давлениях как жидкости, так и газообразной среды, используемой для распыления, например, при операции проявления скрытого изображения в процессах ф...

  Использование: производство полупроводниковых приборов, в частности подготовка поверхности полупроводниковых пластин перед операциями микролитографии . Сущность изобретения: на вращающуюся пластину подают моющий раствор, опускают с обеспечением небольшого натяга вращающуюся щетку, изменяют натяг щетки в процессе гидромеханической обработки , после чего отводят щетку от пластины д...