Пневматическая форсунка для распыления жидкости

Пневматическая форсунка для распыления жидкости

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к области распыления жидкостей вязкостью от 0,5 до 1,5 мПа с помощью газообразной среды и может быть использовано преимущественно в процессах, где требуется получение широкого факела распыленной жидкости при малых давлениях как жидкости, так и газообразной среды, используемой для распыления, например, при операции проявления скрытого изображения в процессах фотолитографии. Цель изобретения - повышение равномерности заполнения плоского факела распыла и уменьшение трудоемкости изготовления форсунки. Для этого каждая насадка выполнена в виде цилиндрической трубки со сплющенным до овальной формы концом. Малая ось овала составляет 0,25-0,35 внутреннего диаметра трубки, длина овального участка трубки не более 2-2,5 длин малой оси овала, расстояние от торца трубки до начала цилиндрической части равно 1,5-1,8 внутреннего диаметра трубки. Угол между плоскостями больших осей овалов насадок равен 90°, а зазор между насадками не превышает половины внутреннего диаметра насадки. Для обеспечения возможности регулирования ширины плоского факела и его дисперсности насадки установлены с возможностью перемещения относительно одна другой и фиксации их положения. 1 з.п.ф-лы, 3 ил.

СОЮЗ СОВETCKMX

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (sl)s В 05 В 7/28,1/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4665698/2,3-05 (22) 05.01.89 (46) 30.12.90. Бюл. М 48 (72) Б,P.Óäçì (53) 667.661.23 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 664690, кл. В 05 В 1/04, 1976. (54) ПНЕВМАТИЧЕСКАЯ ФОРСУНКА ДЛЯ

РАСПЫЛЕНИЯ ЖИДКОСТИ (57) Изобретение относится к распылению жидкостей вязкостью от 0,5 до 1,5 мПа с помощью газообразной среды и может быть использовано преимущественно в процессах, где требуется получение широкого факела распыленной жидкости при малых давлениях как жидкости, так и газообразной среды, используемой для распыления, например при операции проявления скрытого изображения в процессах фотолитографии.

Цель изобретения — повышение равномерИзобретение относится к распылению жидкостей вязкостью от 0,5 до 1,5 мПа с с помощью газообразной среды и может быть использовано преимущественно в процессах, где требуется получение широкого факела распыленной жидкости при малых давлениях как жидкости, так и газообразной среды, используемой для распыления, например при операции проявления скрытого изображения в процессах фотолитографии.

Цель изобретения — повышение равномерности заполнения плоского факела рас-. пыла и уменьшение трудоемкости изготовления форсунки, На фиг.1 представлена форсунка, общий вид(фронтальный); на фиг.2-тоже, вид сбоку; на фиг.3 — насадка, разрез., „, ЯЫ,, 1616713 А1 ности заполнения плоского факела распыла и уменьшение трудоемоксти изготовления форсунки. Для этого каждая насадка выполнена в виде цилиндрической трубки со сплющенным до овальной формы концом.

Малая ось овала составляет 0,25-0,35 внутреннего диаметра трубки, длина овального участка трубки не более 2-2,5 длин малой оси овала, расстояние от торца трубки до начала цилиндрической части равно 1,5-1,8 внутреннего диаметра трубки. Угол между плоскостями больших осей овалов насадок равен 90, а зазор между насадками не превышает половины внутреннего диаметра насадки. Для обеспечения возможнос: w регулирования ширины плоского факела и его,:. исперсности íà-адки установлены с воэможностью перемещения относительно одна другой и фиксации их положения.

1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Предлагаемая форсунка состоит из корпуса 1, в котором выполнен канал 2 для подвода жидкости к выходной насадке 3, и корпуса 4. в котором при помощи винта 5 закрепляется выходная газовая насадка 6.

Корпус 1 фиксируется в корпусе 4 винтом 7.

Насадки каналов выполнены в виде цилиндрических трубок со сплющенными до овальной формы концами, причем малая ось овала составляет 0,25-0,35 диаметра трубки, длина овальной части трубки вдоль ее .,-. оси не превышает 2 — 2,5 длин малой оси овала, а расстояние от торца трубки до ее цилиндрической части равно 1,5-1,8 внутреннего диаметра трубки. Насадки расположены так, что зазор между ними не превышает половины диаметра насадки, В

1616713 угол между плоскостями больших осей овалов насадок равен 90О.

Пневматическая форсунка работает

cñëåäóþùèì образом.

Сжатый гаэ поступает в насадку 6 и за

Счет геометрии ее выходного конца вырыва6тся наружу в виде плоского клинообразного факела. Так как плоскость этого факела совпадает с плоскостью торца насадки 3, идкость из последней захватывается гаэоым потоком и распыляется им, Кроме того, асадка 3 расположена так, что края больой оси овала насадки совпадают с границами газового факела, вследствие чего жидкость равномерно распределяется по дирине факела.

При изменении соотношений размеров

ыходных насадок качество распыла значиельно ухудшается. Так, при увеличении ины сплющенной части насадки (I > 2,5 а) ли расстояния от торца насадки до цилинрического участка трубки ((>1,8б) газовый акел сужается, что приводит к обраэоваию узкого, сильно бьющего факела распыла с крупными каплями на его периферии. ри уменьшении расстояния от торца до илиндрической части трубки (L < 1,5d) газоый факел расширяется, что приводит к неавномерности распределения жидкости в акеле распыла. Аналогичная ситуация возикает при увеличении зазора между насадамиЗиб.

Равномерность факела распыла onpepöåëÿëàñü косвенным путем по результатам проявления фоторезиста на полупроводни ковой пластине.

При необходимости уменьшить ширину факела и увеличить размер капель жидкости ,.:в факеле достаточно развернуть насадку 6 относительно ее оси, одновременно увеличив зазор между насадками 3 и 6. Таким образом можно уменьшить ширину факела распыла в 2-3 раза от максимальной вели5 чины.

Предлагаемая плоскофакельная пневматическая форсунка позволяет при низких давлениях рабочих сред равномерно наносить технологические жидкости на обраба10 тываемые поверхности и имеет при этом низкую трудоемкость изготовления.

Формула изобретения

1. Пневматическая форсунка для распыления жидкости, содержащая корпус с кана15 лами для подвода газа и жидкости, выходные насадки которых размещены перпендикулярно друг другу, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения равномерности заполнения плоского факела распыла

20 и уменьшения трудоемкости изготовления форсунки, каждая насадка выполнена в виде цилиндрической трубки со сплющенным до овальной формы концом, причем малая ось овала составляет 0,25 — 0,35 внутреннего

25 диаметра трубки, длина овального участка трубки не более 2 — 2 5 длин малой оси овала, расстояние от торца трубки до начала цилиндрической части равно 1,5 — 1,8 внутреннего диаметра трубки, при этом угол между

30 плоскостями больших осей овалов насадок равен 90О, а зазор между насадками не превышает половины внутреннего диаметра насадки.

2. Форсунка по п.1, о т л и ч а ю щ а я35 с я тем, что, с целью обеспечения возможности регулирования ширины плоского факела и его дисперсности, насадки установлены с воэможностью перемещения относительно друг друга и фиксации их положения.

1616713

Фиг. f

Составитель В. Ляпина

Редактор М. Бандура Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор О. Кравцова

Заказ 4084 . Тираж 561 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раущская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101