ПОДРЯДЧИКОВ ВИКТОР АНАТОЛЬЕВИЧ
Изобретатель ПОДРЯДЧИКОВ ВИКТОР АНАТОЛЬЕВИЧ является автором следующих патентов:
Способ очистки парогазовой смеси от тетрахлорида кремния
Использование: очистка отводящих газов в химической и полупроводниковой промышленности . Сущность изобретения Очищаемая парогазовая смесь проходит холодильник , где охлаждается до температур соответствующих точкам росы и поступает под слой воды в гидролизе. Газообразные продукты гидролиза тетрахлорида кремния улавливаются водой в насадочном абсорбере . 1 табл., 1 ил. S . СОЮЗ...
1787508