Куйвашев С.Ю.

 Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой размещен электродуговой испаритель с расходуемым электродом, открытая с торцов дополнительная камера, в которой размещен подложкодержатель, и источник питания, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, дополнительная камера электроизолирована и охватывает подложкодержатель таким образом,...