Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Патент 1802548
Авторы
Классы МПК
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Реферат
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой размещен электродуговой испаритель с расходуемым электродом, открытая с торцов дополнительная камера, в которой размещен подложкодержатель, и источник питания, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, дополнительная камера электроизолирована и охватывает подложкодержатель таким образом, что поверхность подложкодержателя находится вне прямой видимости со стороны внутренней поверхности вакуумной камеры.