Малкин В.И.

 Способ получения покрытия из никелида титана в вакууме, включающий предварительную очистку поверхности и последующее распыление никелида титана, отличающийся тем, что, с целью повышения демпфирующих свойств покрытия, распыление никелида титана осуществляют электродуговым вакуумным методом, при этом процесс напыления осуществляют импульсно и перед каждым последующим слоем проводят ионную о...

 Устройство для обработки диэлектрических подложек в тлеющем разряде, содержащее рабочую камеру, подложкодержатель, нагреватель-катод и источник питания нагревателя-катода, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и расширения функциональных возможностей, катод выполнен в виде гирлянды из нескольких подвижных трубок, электрически соединенных между собой с возможностью изменения...

 Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой размещен электродуговой испаритель с расходуемым электродом, открытая с торцов дополнительная камера, в которой размещен подложкодержатель, и источник питания, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, дополнительная камера электроизолирована и охватывает подложкодержатель таким образом,...