Устройство для обработки диэлектрических подложек в тлеющем разряде
Патент 1706235
Авторы
Классы МПК
Устройство для обработки диэлектрических подложек в тлеющем разряде
Реферат
Устройство для обработки диэлектрических подложек в тлеющем разряде, содержащее рабочую камеру, подложкодержатель, нагреватель-катод и источник питания нагревателя-катода, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и расширения функциональных возможностей, катод выполнен в виде гирлянды из нескольких подвижных трубок, электрически соединенных между собой с возможностью изменения конфигурации по форме обрабатываемой подложки.