КРУГЛЕНКО МИХАИЛ ПЕТРОВИЧ

  Использование: в электронной технике для плазменного травления и осаждения материалов микроэлектроники. Сущность изобретения: за верхним электродом соосно с вакуумной камерой, в которой он расположен , размещают магнитную катушку. В результате повышается эффективность генерации химически активных радикалов в верхнем разрядном промежутке, возрастает их поток е область обрабатываем...