Старостин В.Д.

 Использование: технология изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Сущность: установка ионного легирования содержит систему вертикального электростатического сканирования и горизонтально вращающийся барабан, на боковой поверхности которого располагают пластины. Между сканирующим устройством и барабаном расположена маска, имеющая щелевидное окно. Щель имеет переменную в...