PatentDB.ru — поиск по патентным документам

ХАСИМОТО Масанори (JP)

Изобретатель ХАСИМОТО Масанори (JP) является автором следующих патентов:

Устройство для каталитического химического осаждения из паровой фазы

Устройство для каталитического химического осаждения из паровой фазы

Изобретение относится к устройству для каталитического химического осаждения из паровой фазы и может быть использовано для формирования пленки на подложке. Устройство содержит реакционную камеру, установленное в реакционной камере средство поддержки, предназначенное для поддержки подложки, подлежащей обработке, источник введения газа, предназначенный для введения в реакционную камеру исходного г...

2486283