ТИКАМА Йосимаса (JP)

Изобретение относится к способам изготовления подложек со структурой тонкопленочных транзисторов для применения в панелях отображений. Сущность изобретения: способ изготовления подложки со структурой тонкопленочных транзисторов предусматривает этап, на котором формируют электрод затвора и первое соединение на подложке, этап, на котором формируют изолирующую пленку затвора, которая имеет контактн...