Миловзоров Д.Е.

 Использование: относится к времяпролетной масс-спектрометрии. Сущность изобретения: заключается в разделении испущенных источником ионов в первом бесполевом пространстве дрейфа по времени пролета на пакеты, отражении пакетов ионов в электростатическом поле с их последующим направлением во второе бесполевое пространство дрейфа, где осуществляется поочередное отклонение пакетов ионов опреде...

 Использование: в микроэлектронике, нанотехнологии и оптоэлектронике. Техническим результатом изобретения является увеличение быстродействия и снижение трудоемкости изготовления. Сущность изобретения: тонкопленочный нанокристаллический кремний, легированный атомами родия до создания примесных уровней в запрещенной зоне нанокристаллов кремния с энергиями 0.353 и 0.591 эВ от дна зоны проводи...

 Использование: изобретение относится к новым материалам электронной техники и технологии их получения. Техническим результатом изобретения является получение пленок нанокристаллического кремния с высоким содержанием кристаллической фазы с ориентацией (111) при низкой температуре подложки. Сущность: во время вакуумно-плазменного осаждения кремния на подложку увеличивают скорость натекания...