Соколов Е.Б.

  Х» 146918 Класс 31а, Зтв СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Подписная группа М 143 Е. Б. Соколов и В. В. Леонов СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТИГЛЕЙ ИЗ ТУГОПЛАВКИХ ФТОРИДОВ Заявлено 13 августа 1961 г. за Хо .1339-1, 22-2 ! в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Опубликовано в «Бюллетене изобретений» Х» 9 за 1962 г. Известен спосо...

 Использование: при производстве пластин монокристаллического кремния для изделий микроэлектроники. Сущность изобретения: для окисления поверхности кремниевых пластин используют водный раствор надсернокислого сульфата аммония. Техническим результатом изобретения является получение защитного слоя диоксида кремния высокой чистоты и плотности без увеличения стоимости процесса.Данный способ об...