Калинин Ю.Н. (RU)

 Изобретение относится к получению неорганических фторидов, в частности к электрохимическому способу получения трифторида азота (ТФА). Трифторид азота применяется как носитель фтора в технологии травления кремниевых кристаллов при производстве микропроцессоров, а также как окислитель в лазерах с высокой энергией излучения. Трифторид азота получают электрохимическим фторированием фтористово...

Изобретение относится к области получения неорганических фторидов, а именно к способу получения трифторида азота (ТФА), который применяется в химической промышленности как фторирующий агент и как фторсодержащее сырье. ТФА может применяться как окислитель для высококалорийных топлив, как компонент рабочих сред в лазерах с высокой энергией излучения и др. Способ получения трифторида азота электролиз...