ВИДРИГ,Бено (CH)

Изобретение относится к получению на подложке слоя на основе диоксида циркония. Применяют реактивное дуговое распыление с пульсирующим током искрового разряда и/или приложением ортогонального искровой мишени магнитного поля. Для получения слоя используют смешанную мишень, включающую элементарный цирконий и по меньшей мере один стабилизатор, или циркониевую мишень из элементарного циркония при ис...