НАКАГАВА Кен-ити (JP)

Изобретения могут быть использованы в электронной промышленности. Способ изготовления частиц диоксида кремния, у которых водопоглощающая способность составляет менее чем 1,0% при измерении через 500 часов после выдерживания при температуре 50°C и влажности 90% и при температуре 85°C и влажности 85% D90/D10 составляет 3 или менее, абсолютная плотность составляет 2,1 г/см3 или более, и средний диа...