ХОСИНО Нарухиро (JP)
Изобретатель ХОСИНО Нарухиро (JP) является автором следующих патентов:
Способ получения поликристаллического кремния и реактор для получения поликристаллического кремния
Изобретение относится к технологии получения поликристаллического кремния путем осаждения на кремниевой электродной проволоке методом Siemens. Способ включает первую стадию с относительно низкой подачей газа, последнюю стадию с относительно высокой подачей газа и промежуточную стадию, на которой количество подаваемого газа увеличивают от величины подачи на первой стадии до величины подачи на по...
2581090