PatentDB.ru — поиск по патентным документам

ХОСИНО Нарухиро (JP)

Изобретатель ХОСИНО Нарухиро (JP) является автором следующих патентов:

Способ получения поликристаллического кремния и реактор для получения поликристаллического кремния

Способ получения поликристаллического кремния и реактор для получения поликристаллического кремния

Изобретение относится к технологии получения поликристаллического кремния путем осаждения на кремниевой электродной проволоке методом Siemens. Способ включает первую стадию с относительно низкой подачей газа, последнюю стадию с относительно высокой подачей газа и промежуточную стадию, на которой количество подаваемого газа увеличивают от величины подачи на первой стадии до величины подачи на по...

2581090