КОНСТАНСИА Кристоф (FR)
Изобретатель КОНСТАНСИА Кристоф (FR) является автором следующих патентов:
![Подложка для электронной литографии высокого разрешения и соответствующий способ литографии Подложка для электронной литографии высокого разрешения и соответствующий способ литографии](https://img.patentdb.ru/i/200x200/cf90d80121c034328587b28b1d9601d1.jpg)
Подложка для электронной литографии высокого разрешения и соответствующий способ литографии
Группа изобретений относится к литографии при помощи электронного пучка. Структура основания для слоя материала, предназначенного для селективной обработки по рисунку высокого разрешения, и приема электронно-чувствительного маскирующего слоя для определения рисунка содержит наслоение подложки и промежуточный слой из пористого материала с плотностью, по меньшей мере, в два раза меньшей, чем плотнос...
2632581