ЗИБЕРТ Макс (DE)
Изобретатель ЗИБЕРТ Макс (DE) является автором следующих патентов:
Композиция для смр, содержащая абразивные частицы, содержащие диоксид церия
Группа изобретений относится к полимерной химии и может быть использована в полупроводниковой промышленности. Композиция для химико-механической полировки содержит (А) абразивные частицы диоксида церия; (В) один или более полимеров. Каждая макромолекула полимеров содержит (i) одну или более анионных функциональных групп и (ii) одну или более структурных единиц -(AO)a-R. А представляет собой CxH2x...
2661571