МОРАЯ Марко (IT)

 Изобретение относится к процессам осаждения тонких пленок. Может применяться при производстве интегральных микросхем, носителей для хранения информации, плоских дисплеев и т.п. Предложен способ осаждения тонких пленок на подложку. Газопоглощающее устройство в активированном состоянии вводят во взаимодействие с рабочей газовой средой в вакуумируемой рабочей камере. Сумма парциальных давлен...

Изобретение относится к способу изготовления пористых газопоглотительных устройств с пониженной потерей частиц и к устройствам, изготавливаемым этим способом. Предложенный способ включает формирование покрытия с толщиной по меньшей мере 0,5 мкм на поверхности пористого газопоглотительного тела. Покрытие формируют из материала, совместимого с условиями использования газопоглотительного устройства и...

Изобретение относится к многослойным покрытиям из неиспаряющихся геттерных материалов и к способу их изготовления. Многослойное покрытие из неиспаряющихся геттерных материалов содержит по меньшей мере два слоя на подложке. Первый слой, нанесенный непосредственно на подложку, состоит из неиспаряющегося геттерного материала, имеющего площадь поверхности, эквивалентную по меньшей мере 20-кратному зна...