Ионов А.М. (RU)

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим поддержание температуры образцов в широком диапазоне при измерении и других технологических операциях в сканирующих зондовых микроскопах (СЗМ). Предлагаемое изобретение целесообразно использовать в вакуумном оборудовании. Сущность изобретения заключается в том, что устройство поддержания темп...

Устройство относится к области криогенной техники и может быть использовано для охлаждения объектов измерений. Криогенный ввод содержит теплообменник с держателем объекта. Теплообменник расположен в вакуумной камере. Теплообменник соединен с первым трубопроводом для подачи хладагента и со вторым трубопроводом для отвода хладагента. Трубопроводы подключены к источнику хладагента. Места соединения т...