Лебедев Э.А. (RU)

Использование: изобретение относится к области плазмохимической обработки пластин и может быть использовано, в частности, в фотолитографии на операциях удаления фоторезиста и радикального травления различных полупроводниковых слоев в технологии изготовления ИС. Сущность изобретения: устройство содержит активационную камеру, выполненную в виде трубы из диэлектрического материала с патрубком напуска...