ЛЮКС-ШТАЙНЕР Марта Кристина (DE)

Изобретение относится к способам изготовления стабильных поверхностных покрытий за счет катодного распыления, напыления, осаждения из ванных или MOCVD и может найти применение при защите и модификации поверхностей, в том числе со скрытыми структурами, а также при нанесении функциональных слоев, в частности, в гелиотехнике и технике материалов. При приготовлении керамических или оксидных слоев на п...