ФЛАДЕ Тило (DE)
Изобретатель ФЛАДЕ Тило (DE) является автором следующих патентов:
Способ и устройство для резки монокристаллов, а также устройство для юстировки и способ тестирования для определения ориентации кристалла
Изобретение может быть использовано в полупроводниковой промышленности. Сущность изобретения: способ разделения монокристалла, в частности GaAs, заключается в том, что монокристалл (1) разрезается, по меньшей мере, на две части и режущий инструмент (2, 3; 8, 8а, 8b, 8с) перемещают относительно друг друга в направлении продвижения (V), при этом монокристалл (1) ориентируют таким образом, что заданн...
2251598Устройство и способ разделения материалов
Изобретение относится к устройству и способу разделения материалов, в частности монокристаллов. Техническим результатом является эффективная очистка и удаление снятого материала во время разрезания. Для этого устройство содержит режущий диск с концентрическим отверстием, край которого образует режущую кромку, при этом режущий диск выполнен с возможностью вращения вокруг его центральной оси с целью...
2271927Устройство и способ определения ориентации кристаллографической плоскости относительно поверхности кристалла, а также аппарат и способ резки монокристалла в режущей машине
Изобретение относится к устройству и способу определения ориентации кристаллографической плоскости относительно поверхности кристалла, а также к аппарату и способу резки монокристалла в режущей машине. Техническим результатом является повышение точности резки и одновременно увеличение выхода пластин в ходе резки монокристалла. Для этого измеряют угол, который измеряемая поверхность кристалла образ...
2296671